CST クリーンサアフェイス技術株式会社

社内で使用していた治具を見て、お客様が外販を希望されたのが始まりです。
その後丸基板用、ディスク用、大きなサイズ用等が加わりました。

■ ＣＳＴ-６０２５ＳＨ
平取り専用、マスク・レチクルケースから検査機・露光装置への脱着等に最適です。
ペリクル付き状態でも、干渉しません。グリッパーが作業時にマスク上を横切らないサイドホールドタイプ。
総重量：126g
コンパクト設計で作業負荷低減

■ 操作手順

【グリッパー部詳細画像】
　

ＣＳＴのハンドリング治具が２８年、基板を扱う人には必需品となりました。研磨、洗浄、検査装置への脱着など
あらゆる場面でご使用頂けます。
重い大型基板を端面だけの保持でケースからの出し入れから装置へのセットまで出来ます。
ＵＪ０からＵＪ８までのハンドリング治具によって大型基板を自由自在に扱えます。

■ ＵＪ０

ケースから垂直に取り出すための治具です。 600から1400mmまでの基板を対象にしています。

型式例
UJ0-920-10(Q800×920×10.0用)
UJ0-1200-10(Q850×1200×10.0用)

■ ＵＪ１

軽量な基板のケースからの出し入れ、基板検査のハンドリング等の多目的に使える治具です。中央部をハンドリングすれば平面取りや装置へのセッティングが可能です。

型式例
UJ1-3×4-6(330～400mm可変 5t,6t兼用)
UJ1-5×6-6(510～610mm可変 5t,6t兼用)

■ ＵＪ２

UJ1を肩幅で連結した治具です。縦取り、横取りと確実にホールドでき、
装置へのセッティングに最適です。

型式例
UJ2-3×4-6(330～400mm可変 5t,6t兼用)
UJ2-5×6-6(510～610mm可変 5t,6t兼用)

■ ＵＪ３

大サイズや重い基板用です。平面に置かれた基板をリフトアップして
ハンドリングすることもできます。

型式例
UJ3-800-10(Q800×920×10.0用)

■ ＵＪ６

UJ3で押さえていない2辺を１ヶ所で押さえることでより安定した
基板のホールドができます。

型式例
UJ6-850×1200-10(Q850×1200×10.0用)

■ ＵＪ８

4辺を2箇所ずつホールドした治具です。大型基板で板厚が比較的薄く自重で撓むようなPDP大型マスクブランクスや第8世代などの大型石英基板に最適です。

型式例
UJ8-1220×1400-13(Q1220×1400×13用)
UJ8-1300×2100-5(B1300×2100×4.8用)