CST クリーンサアフェイス技術株式会社
■ 基板の種類
記 号
硝 種
B
ソーダライム（青板）
Q
石 英
W
白 板
■ 基板の分光透過曲線
■ フラットネス（2.5inch 〜 7inch）
記 号
フラットネッス
A
2µ 以下
B
5µ 以下
C
7µ 以下
D
10µ 以下
E
14µ 以下
■ 基板の分光透過曲線
■ フラットネス（2.5inch 〜 7inch）
