CST クリーンサアフェイス技術株式会社

● レジスト保証エリア

● レジストの膜厚

5000Å　5400Å　7000Å　10000Å

ＣＳＴ大型角基板のレジストは、スピンコート方式で２種類の塗布方法を確立しました。
ＦＳ（フリンジスモール）品は、外周部分のレジスト盛り上がり幅を小さくし、作画エリアを改善しました。
製品では８００×９６０サイズ迄対応可能です。
又ＦＦ（フリンジフリー）品は、ＬＣＤマスクサイズ以外にも辺長比１：２５等長尺、スケール用基板や
超大型基板にも対応出来ます。

● 通常品（画像）

● フリンジフリー品（画像）

● フリンジスモール品

>>フリンジスモール品画像（資料室）