製品情報

CSTのマスクブランクス

• 豊富なラインナップと対応力

  多様なニーズにお応えすべく豊富なサイズを取り揃えています。レギュラーラインナップ以外のサイズに対しても長年の実績よりご提案を交えながらご希望に添えるものをご紹介いたします。初期の試作・評価などについては小ロットからでも承ります。複数の生産ラインを有していますので量産案件もお任せ下さい。

• 徹底した品質管理・向上への取り組み

  近年ますます高まっていく品質へのご要求を受け、品質管理にもより一層注力しています。製造環境や洗浄ラインの状態をモニタリングし、ピンホールやパーティクル等の欠陥を低減させるなど、継続して品質を向上していく仕組みが構築されています。

• 優れた特性を持つ膜設計

  反射率、濃度等の光学特性のバラツキは少なく安定しています。CST標準の下地に薄く酸化クロムを着ける構成で調整された膜はソーダガラスの経時変化による欠陥発生の低減、ガラスとの密着性強化、膜応力の低減等の効果を持つように膜設計されています。

• FSコート（フリンジスモール）

  スピンコートではどうしても発生してしまうフリンジ、FSコートはこの外周部のレジスト盛り上がり幅を小さくし、描画エリアを広げるとともに、優れた均一性を実現しました。