CSTの製造工程は、大きく3工程に分類する事ができます。
1.洗浄工程 ・・・購入、搬入された基板の表面を綺麗に洗浄
2.成膜工程 ・・・基板に薄膜を成膜
3.レジスト工程・・・感光材をコーティングする
2006年の入社以来、配置転換により複数の工程に従事して参りましたが、主に携わってきたのは2番目の成膜工程です。
前工程である「洗浄工程」を経た基板を検査し、成膜装置に投入します。機械による成膜作業完了後に着膜後検査を行い、傷や不純物などの欠陥がないかを目視で確認します。
規格に適合した製品だけを次工程である「レジスト工程」へ回します。
微細な異物、不純物が欠陥や不良に繋がる為、作業環境や設備はメンテナンスが行き届いていますが、時には検査により不適合判定となる事もあり、やり直しが発生するケースもあります。作業量の目安としては、多い時で1日数百枚の検査を行う事があります。
